(1)高效性：臭氧发生器消毒不需要其他任何辅助材料和添加剂。消毒进行时臭氧发生设备发生一定量的臭氧，在相对密封的环境下，分散均匀，包容性、通透性好，克服了紫外线灯管管灭菌存在的消毒死角的问题，到达全方位、快速、高效的消毒灭菌意图。另外，因为它的灭菌广谱性，既可以杀灭细菌繁衍体、芽胞、病毒、真菌和原虫孢体等多种微生物，还可以损坏肉毒杆菌和毒素及立克次氏体等，同时还具有很强的除霉、腥、臭等异味的功能。

　　(2)高洁性：臭氧在环境中可天然分解为氧，这是臭氧作为消毒灭菌剂的独特长处。臭氧利用空气中的氧气发生的，消毒氧化过程中，多余的氧原子(O)在30分钟后又结合成为分子氧(O2)，不存在任何残留物质，处理了消毒剂消毒时，残留物的二次污染问题，同时省去了消毒完毕后的再次清洁。

　　(3)方便性：臭氧灭菌设备一般装置在室内或中央空调系统、空气净化系统中，或者是灭菌设备中(如臭氧消毒灭菌柜、传递窗等)。可根据灭菌所需浓度及时间，主动设置臭氧灭菌设备的定时控制，操作使用方便。而甲醛、环氧乙酸熏蒸消毒时间长，而臭氧消毒可以天天定时开启使用。

　　(4)经济性：通过臭氧消毒灭菌在许多制药职业GMP中的使用，以及医疗卫生单位的使用及运行比较，臭氧消毒办法与其他办法相比具有很大的经济效益和社会效益。