近年来，臭氧消毒机在食物行业的使用得到快速发展，1995-1996年间，日本、法国、澳大利亚相继立法，允许臭氧在食物行业中广泛使用。1997年4月，美国食物与医药管理局(FDA)抛弃对食物加工使用臭氧的约束政策，承认臭氧使用于食物过程契合GRAS(通用安全标准)要求。1928年，英国人在我国的天津树立“合记蛋厂”，其打蛋车间就使用臭氧消毒。20世纪30时代末，美国80%的冷藏蛋库都装有臭氧发生器，提高了鸡蛋的贮藏期。到了20世纪90时代中期，我国不少中外合资食物企业，在车间的杀菌净化、易腐食物的保鲜、贮存仓库及食物船舱等环节都安装了臭氧发生器，后又推行到食物集装箱、食物冷藏车内。

　　随着人们对化学消毒剂残留形成食物污染的重视，臭氧消毒机将成为食物行业的新兴消毒剂得到迅速的推行和使用。

　　(一)加工车间(库)与加工设备的消毒灭菌

　　在食物厂，臭氧气体用于食物加工间、贮藏室与加工设备消毒是非常方便、有效的。传统的消毒办法是用甲醛等化学试剂熏蒸，众所周知，甲醛熏蒸的弊端较多，国外近期研讨证明，在控制空气微生物方面，臭氧是甲醛和其他化学熏剂的代替物。经过化学雾化、紫外线与臭氧作消毒剂的对照实验，结论是臭氧既有用又无残留，臭氧“大大抑制”了加工设备中大肠杆菌群小球菌和酵母菌的成长。

　　二)空间的消毒灭菌

　　速冻食物、冷饮食物、肉蛋奶制品加工车间与包装车间使用臭氧消毒作用好。同时可去除异味污染。

　　(三)物品的外表消毒灭菌

　　在饮料、果汁等生产过程中，臭氧水可用于管路、生产设备及盛装容器的浸泡和冲洗，从而达到消毒灭菌的意图。